集成电路刻蚀效果三维显示及其关键技术研究 <br />

集成电路刻蚀效果三维显示及其关键技术研究

吴永亮，万旺根，崔滨

3D display for integrate circuit etching result and key technology research

WU Yong-liang，WAN Wang-gen，CUI Bin

计算机工程与应用 . 2009, (23): 214 -216 . DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2009.23.061