集成电路刻蚀过程三维仿真模型优化

计算机工程与应用 ›› 2011, Vol. 47 ›› Issue (5): 246-248.

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集成电路刻蚀过程三维仿真模型优化

吴永亮，万旺根，徐鸿玮

上海大学通信与信息工程学院，上海 200072

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2011-02-11 发布日期:2011-02-11

Research for 3D simulation model optimization of ICs etching process

WU Yongliang，WAN Wanggen，XU Hongwei

School of Communication and Information Engineering，Shanghai University，Shanghai 200072，China

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Online:2011-02-11 Published:2011-02-11

摘要/Abstract

摘要： 集成电路三维刻蚀仿真模型的原始方案使用的是可变点阵的三维刻蚀仿真模型。但是在这种模型作用下新的刻蚀点空间坐标的误差会随着刻蚀点间距的不断增大而增大，最终的积累误差会导致仿真的效果变差。改进了原有算法，使用了新的固定点阵的离散化数学模型代替原有可变点阵的模型，大幅改善了刻蚀精度和显示效果。并给出了刻蚀仿真的结果并进行了讨论。

关键词: 刻蚀, 仿真, 固定点阵

Abstract: The initial schema of IC 3D etching simulation model uses the 3D etching simulation model with variable grid.But the problem is that the error of the new etching space points coordinates will increase when the distances between etching points increase using the above-mentioned model.This paper improves the initial algorithm，using a new discrete math model with fixed grid instead，which dramatically improves the etching precision and display effect.The simulation results with the new model are presented and discussed.

Key words: etching, simulation, fixed grid

吴永亮，万旺根，徐鸿玮. 集成电路刻蚀过程三维仿真模型优化[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(5): 246-248.

WU Yongliang，WAN Wanggen，XU Hongwei. Research for 3D simulation model optimization of ICs etching process[J]. Computer Engineering and Applications, 2011, 47(5): 246-248.

[1]	黄逸磊，夏志杰，王诣铭. 强关系型社交媒体平台不实信息传播模型研究[J]. 计算机工程与应用, 2021, 57(9): 126-133.
[2]	李高源，王晋宇，张长弓，冯博迪，高宇歌，杨海涛. SAR图像仿真方法研究综述[J]. 计算机工程与应用, 2021, 57(15): 62-72.
[3]	张悟移，李建国，龚钰雯. 高层住户防抛物、坠物安全意识演化模型[J]. 计算机工程与应用, 2021, 57(1): 254-260.
[4]	康雷雷，卢维科，刘澜. 城市快速路入口匝道与交叉口协调控制策略[J]. 计算机工程与应用, 2020, 56(9): 267-271.
[5]	叶颖诗，魏福义，蔡贤资. 基于并行计算的快速Dijkstra算法研究[J]. 计算机工程与应用, 2020, 56(6): 58-65.
[6]	刘洪琛，刘朝霞，张龙. 融合[L2]和KL保真项的图像恢复算法[J]. 计算机工程与应用, 2020, 56(5): 214-221.
[7]	朱惠娟，王永利，陈琳琳. 面向三维模型轻量化的自私羊群优化算法研究[J]. 计算机工程与应用, 2020, 56(3): 42-48.
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[9]	蒋姝丽，刘渊，王晓锋. 天地一体化信息网络宽带用户行为仿真技术[J]. 计算机工程与应用, 2020, 56(10): 75-82.
[10]	戴耀南，陈绪兵. 人体背部脊椎恒温艾灸机器人设计与实现[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(9): 216-222.
[11]	龚心杰，李德识. 广域稳控系统通信网络性能仿真及分析[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(8): 66-73.
[12]	魏锋涛，卢凤仪. 融合核函数在改进径向基代理模型中的应用[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(7): 58-65.
[13]	吴其凡1，张劲1，刘凯1，汤炜2，田卫东2. 下颌骨拼接与导板设计的力反馈虚拟手术研究[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(5): 226-231.
[14]	陈可嘉，陈琳琳，陈鹏. OPM3要素对项目组合管理能力影响的SD建模与仿真[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(3): 258-265.
[15]	刘富春，贺云，陈奕峰. 时延MPC自主车辆协同控制算法与仿真[J]. 计算机工程与应用, 2019, 55(23): 222-227.

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