集成电路刻蚀过程三维仿真模型优化

集成电路刻蚀过程三维仿真模型优化

吴永亮，万旺根，徐鸿玮

Research for 3D simulation model optimization of ICs etching process

WU Yongliang，WAN Wanggen，XU Hongwei

计算机工程与应用 . 2011, (5): 246 -248 .