晶圆表面缺陷模式的在线探测与自适应识别研究

吴斌1，卢笑蕾2，余建波2

Research on online detection and self-adaption recognition of wafer defect patterns

WU Bin1, LU Xiaolei2, YU Jianbo2

计算机工程与应用 . 2016, (17): 261 -265 .