半导体黄光区调度问题研究

半导体黄光区调度问题研究

马慧民 ^1,2,许圣良 ¹,叶春明 ²

Research on semiconductor photolithography scheduling problem

MA Hui-min ^1,2,XU Sheng-liang ¹,YE Chun-ming ²

计算机工程与应用 . 2008, (36): 234 -236 . DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2008.36.068