MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现
谢勇君
1，2，3，史铁林
2，3，刘世元
2，3
Design and implementation of measurement system for out-of-plane micro-motions of MEMS structures
XIE Yong-jun
1，2，3，SHI Tie-lin
2，3，LIU Shi-yuan
2，3
计算机工程与应用
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2010, (7): 66
-68
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DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2010.07.020
