集成电路刻蚀过程三维建模与可视化技术研究

doi:10.3778/j.issn.1002-8331.2010.12.068

计算机工程与应用 ›› 2010, Vol. 46 ›› Issue (12): 227-229.DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2010.12.068

集成电路刻蚀过程三维建模与可视化技术研究

吴永亮，万旺根，崔滨

上海大学通信与信息工程学院，上海 200072

收稿日期:2008-10-14 修回日期:2009-01-17 出版日期:2010-04-21 发布日期:2010-04-21
通讯作者: 吴永亮

Research of 3D modeling and visualization for integrate circuit etching process

WU Yong-liang，WAN Wang-gen，CUI Bin

School of Communication and Information Engineering，Shanghai University，Shanghai 200072，China

Received:2008-10-14 Revised:2009-01-17 Online:2010-04-21 Published:2010-04-21
Contact: WU Yong-liang

摘要/Abstract

摘要： 提出了一个新的、适合于三维条件下集成电路刻蚀过程的数学模型，并对其进行离散化处理，使它能够使用数字计算机进行刻蚀过程的仿真；同时研究了刻蚀过程的表面演化过程并给出了相关的数学模型；又研究了刻蚀模型仿真可视化技术的相关算法以及实现；最后给出了仿真结果并对其进行了讨论。

中图分类号:

TP391.9

吴永亮，万旺根，崔滨. 集成电路刻蚀过程三维建模与可视化技术研究[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(12): 227-229.

WU Yong-liang，WAN Wang-gen，CUI Bin. Research of 3D modeling and visualization for integrate circuit etching process[J]. Computer Engineering and Applications, 2010, 46(12): 227-229.

[1]	黄琳琳，魏丽芳，潘林，余轮. 新的眼底图像配准方法的研究[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(4): 198-200.
[2]	张秀平，杨国武，李晓瑜. MMU协处理器的一种软件模拟模型[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(3): 57-60.
[3]	杨韬¹，邓红莉²，邵晨曦³. 基于Agent和FSM的细胞信号转导网络仿真[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(3): 221-224.
[4]	曹琦^1，2，何中市²，余磊². 计算机仿真系统评估方案研究[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(2): 246-248.
[5]	郭松睿¹，高春鸣². 简化物理模型的卡通火焰模拟[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(1): 197-200.
[6]	宁涛^1，2，郭晨¹，张升文³. 用混合包围盒优化碰撞检测方法[J]. 计算机工程与应用, 2011, 47(1): 1-3.
[7]	熊海国，何景峰，马建明，韩俊伟. 面向对象的商用飞行模拟机教员台设计与实现[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(34): 219-223.
[8]	何兆成，杨文臣，梁诗，佘锡伟，洪波. 城市单交叉路口交通信号实时优化控制与仿真[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(33): 239-243.
[9]	黄洪^1，2，周绍华⁴，刘增良³，余达太². 基于免疫选择的智能化等级测评模型研究[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(33): 104-107.
[10]	赵维^1，2，谢晓方¹. 自主虚拟士兵攻击行为研究[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(32): 67-70.
[11]	李健，李鹏坤，丁露露. 基于压力模型的柔性物体仿真[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(31): 206-208.
[12]	师黎，王江涛. 模糊预测-PID复合控制在高速列车制动中的应用[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(31): 228-231.
[13]	李健杰¹，易先清¹，唐曙¹. 具有抗毁性的导航星座网络管理策略分析[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(31): 98-101.
[14]	许应成，王理，夏国平，高辉. 基于Web的心墙堆石坝仿真系统建模与应用研究[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(30): 199-204.
[15]	陈永，胡晓辉，党建武. 随机Petri网理论在GSM-R通信系统中的仿真应用[J]. 计算机工程与应用, 2010, 46(30): 208-211.

集成电路刻蚀过程三维建模与可视化技术研究

Research of 3D modeling and visualization for integrate circuit etching process

PDF

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics