MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法

MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法

冯金秋, 燕芳, 杨阳, 李海宇

MMF-YOLO Algorithm for Detection of Micro-Defects on Wafer Mold Surfaces

FENG Jinqiu, YAN Fang, YANG Yang, LI Haiyu

计算机工程与应用 . 2025, (15): 132 -143 . DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2502-0222